製品紹介：
測定タクト：≤5秒/件（ロボット時間を含まない）
製品漏れ率基準：1.00 E-05 mbar L/s
設備精度：1.00 E-08 mbar L/s
測定値はデバイスに表示し、データはローカルに保存したりMESをアップロードしたりすることができます
この設備は自動上下材料を採用し、材料を投入すると設備は自動的に開閉して真空箱、治具の自動密封ワークを検出し、自動的に漏れ検査を完了する。
各ステーションには気源オンオフスイッチ、人工操作ステーションにはラスター+急停止、自動ステーションには安全ドアスイッチ+急停止を装備する